| 摘要 |
반도체 디바이스 검사 장치는 레이저 광원과, 반도체 디바이스를 구동시키는 테스트 신호 인가하는 테스터와, 반사광을 검출하여 검출 신호를 출력하는 광센서와, 검출 신호의 위상 정보인 제1 위상 정보를 계측하는 제1 스펙트럼 애널라이저와, 소정의 주파수의 레퍼런스 신호를 생성하는 레퍼런스 신호 생성부와, 레퍼런스 신호의 위상 정보인 제2 위상 정보를 계측하는 제2 스펙트럼 애널라이저와, 제1 위상 정보 및 제2 위상 정보에 기초하여, 소정의 주파수에 있어서의 검출 신호의 위상 정보를 도출하는 해석부를 구비하고, 제1 스펙트럼 애널라이저는 기준 주파수에 대한 제1 위상 정보를 계측하고, 제2 스펙트럼 애널라이저는 기준 주파수에 대한 제2 위상 정보를 계측하고, 제1 스펙트럼 애널라이저의 기준 신호의 주파수와 그 위상과, 제2 스펙트럼 애널라이저의 기준 신호의 주파수와 그 위상이 동기하고 있다. |
