发明名称 Particles Collecting Apparatus
摘要 본 발명은 입자 포집 장치에 관한 것으로, 본 발명의 실시 예를 따르는 입자 포집 장치는, 내부에 챔버를 형성하는 챔버 바디, 상기 챔버 바디의 일 면에 배치되어 상기 챔버 바디의 외부 및 내부를 연결하는 유입구, 상기 챔버 바디의 일 면에 배치되어 상기 챔버 바디의 외부 및 내부를 연결하고 상기 유입구와 이격하여 배치된 배출구, 상기 챔버 바디의 일 면에 배치되어 상기 챔버 바디의 외부 및 내부를 연결하고 상기 유입구 및 배출구와 이격하여 배치된 삽입구 및 상기 챔버 바디의 내부에 배치되고 일면에 포집판을 포함하는 포집대;를 포함하는 챔버 모듈을 포함하고, 상기 포집대는, 상기 삽입구를 통하여 상기 챔버 바디의 외부에서부터 상기 챔버 바디의 내부로 들어가고, 상기 삽입구를 통하여 상기 챔버 바디의 내부에서부터 상기 챔버 바디의 외부로 나온다.
申请公布号 KR20160134983(A) 申请公布日期 2016.11.24
申请号 KR20150067360 申请日期 2015.05.14
申请人 SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.;RESEARCH & BUSINESS FOUNDATION SUNGKYUNKWAN UNIVERSITY 发明人 LEE, SOON KYO;SEO, MYUNG RYUL;KIM, MYUNG JUN;SUNG, KI UN;JO, YOU JIN;KIM, TAE SUNG;HA, SOO HYEON
分类号 G01N1/22;G01N1/24 主分类号 G01N1/22
代理机构 代理人
主权项
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