波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块、光分析装置

摘要

本发明提供了一种波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块、光分析装置，该波长可变干涉滤波器包括：第一基板，具有固定镜；第二基板，与第一基板接合，包括可动部和固定在可动部上的可动镜；第三基板，在与第一基板相反的一侧上与第二基板接合；以及静电致动器，使可动部沿基板相对方向移位，其中，形成有使第一基板和第二基板之间的出射侧空间以及第二基板和第三基板之间的入射侧空间与外部连通的贯通孔，贯通孔被密封材料密封，以将各空间密闭为减压状态。

主权项

一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，包括：第一基板，具有透光性；透光性的第二基板，与所述第一基板的一面相向，并与所述第一基板接合；透光性的第三基板，与所述第二基板的设置有所述第一基板一侧的相反一侧相向，并与所述第二基板接合；可动部，设置在所述第二基板上，具有与所述第一基板相向的可动面；连结保持部，设置在所述第二基板上，保持所述可动部以使其能够沿第二基板厚度方向移动；一对镜，在所述可动部的所述可动面和所述第一基板的位于所述第二基板一侧的面上隔着预定的镜间间隙而相向配置；以及静电致动器，在所述第一基板和所述第二基板的彼此相向的面上分别具有彼此相向的一对移位用电极，通过向这些移位用电极施加预定的电压，利用静电引力而使所述可动部沿所述第二基板厚度方向移位，其中，所述第一基板与所述第二基板、所述第二基板与所述第三基板之间分别由环状的接合层接合，所述波长可变干涉滤波器具有被所述第一基板与所述第二基板夹持的第一内部空间以及被所述第二基板与所述第三基板夹持的第二内部空间，并形成有使所述第一内部空间和所述第二内部空间与外部连通的贯通孔，所述贯通孔被密封材料密封，以将所述第一内部空间和所述第二内部空间密闭为从大气压减压的状态，所述可动部被配置在均为减压状态的所述第一内部空间和所述第二内部空间之间，在所述第一基板上，形成有与所述一对移位用电极连接的贯通电极和用于形成所述贯通电极而贯通所述第一基板的电极形成孔，所述电极形成孔兼用作所述贯通孔，所述贯通电极兼用作所述密封材料。