一种SAW温度传感器的结构及制作方法

摘要

本发明公开了一种新型SAW(声表面波)温度传感器的结构及制作方法。所述传感器包括：位于底层的压电衬底材料；位于衬底材料之上的传感器叉指电极；位于叉指电极同一层，在叉指电极周围的氧化区域；位于叉指电极及电极周围氧化区域之上的二氧化硅保护层。其特点在于，采用谐振型工作方式，其叉指电极的制作采用氧化工艺，实现减弱谐振器发射端频率响应的改善。同时，在电极之上制作了SiO2(二氧化硅)保护薄层，防止了电极材料的氧化。本发明通过制备声表面波温度传感器，可以适用于恶劣环境下对物体的温度无线监测，可在无源无线情况下工作，具有性能稳定、使用寿命长、适用范围广等突出优点。

主权项

一种SAW温度传感器结构，其特征在于，包括：位于底层的衬底材料；位于衬底材料之上的传感器叉指电极；位于叉指电极同一层，在叉指电极周围的氧化区域；位于叉指电极及电极周围氧化区域之上的二氧化硅保护层。