| 发明名称 | 基板检查装置、基板检查方法以及基板检查程序 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板检查装置、基板检查方法以及基板检查程序，不必设置自我诊断专用的接触部，也能够确定处于不良状态的接触部。在使分别用于与形成在被检查基板(24)上的电气导通的焊盘(22)相接触并且分别连接有输入部和输出部的3个以上的探针(14)与焊盘(22)相接触的状态下，向各探针(14)的输入部依次输入信号，并取得来自与该输入对应的各探针(14)的输出部的输出信号，根据所取得的输出信号的组合，确定处于不良状态的探针(14)。 | ||
| 申请公布号 | CN106154097A | 申请公布日期 | 2016.11.23 |
| 申请号 | CN201510649548.3 | 申请日期 | 2015.10.09 |
| 申请人 | 富士施乐株式会社 | 发明人 | 冈崎祥也 |
| 分类号 | G01R31/02(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉;于靖帅 |
| 主权项 | 一种基板检查装置，该基板检查装置具有：3个以上的接触部，其分别用于与形成在被检查基板上的电气导通的端子相接触，并且分别连接有输入部和输出部；取得部，在使该3个以上的接触部与该端子相接触的状态下，该取得部向各接触部的输入部依次输入信号，并取得来自与该输入对应的各接触部的输出部的输出信号；以及确定部，其根据该取得部所取得的输出信号的组合来确定处于不良状态的接触部。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||