一种快速换靶双面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机

摘要

本发明公开了一种快速换靶双面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机，属于镀膜设备领域。本发明利用开卷机构和收卷机构之间的基带经过设于真空室内的换向辊换向后呈“S”形缠绕于两组冷辊上，实现基带的双面镀膜，合理利用了真空室的空间；开卷机构和收卷机构处各设置一组纠偏装置，利用两组纠偏装置实现基带的往复连续运动，使基带的收卷边缘整齐，达到连续镀多层膜的加工目的；通过在每组冷辊上对应设置至少两组回转换靶装置，一次镀膜行程可以完成基材两面多层膜的镀制，大大提高了镀膜机双面镀膜的效率，且镀膜精度高，同时利用回转换靶装置在不打开镀膜真空室的情况下即可及时更换阴极靶，节省了传统换靶后再次抽真空所需的时间。

主权项

一种快速换靶双面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机，包括真空室（1）、设于真空室（1）两侧的开卷室（2）和收卷室（9）、设于开卷室（2）内的开卷机构（201）、设于收卷室（9）内的收卷机构（901）和设于真空室（1）内的两组冷辊（8），其特征在于：还包括回转换靶装置（10）和纠偏装置（3），所述的开卷室（2）与真空室（1）之间、收卷室（9）与真空室（1）之间均设置有闸板阀（4），所述的开卷机构（201）和收卷机构（901）之间的基带（5）经过设于真空室（1）内的换向辊（7）换向后呈“S”形缠绕于两组冷辊（8）上，所述的开卷机构（201）和收卷机构（901）处各设置一组纠偏装置（3），且开卷机构（201）和收卷机构（901）带动基带（5）实现往复运动；每组所述的冷辊（8）的包覆有基带（5）的圆周面上至少对应设置两组回转换靶装置（10），每组所述的回转换靶装置（10）与对应的冷辊（8）之间均设置有一组两面开口的阴极小室（12），且每组回转换靶装置（10）、阴极小室（12）和对应的冷辊（8）位于同一轴线上；所述的回转换靶装置（10）包括机座（1001）、回转盘（1004）、驱动回转盘（1004）转动的回转机构、驱动回转盘（1004）沿轴向伸缩的轴向伸缩机构（1002）、安装于回转盘（1004）上的两个以上的伸缩轴套（1005）、安装于伸缩轴套（1005）上的用于安装靶芯（11）的极靶座板（1006）和安装于机座（1001）上且与阴极小室（12）的开口方向相对的径向伸缩机构（1007），所述的回转盘（1004）为设有内腔的桶状结构，所述的伸缩轴套（1005）安装于回转盘（1004）的侧壁上，当轴向伸缩机构（1002）收缩后，所述的径向伸缩机构（1007）刚好与一个伸缩轴套（1005）相对应，用于将极靶座板（1006）向外顶出并嵌入阴极小室（12）内。