发明名称 一种可自动清洁抛光台的碳化硅抛光机
摘要 一种可自动清洁抛光台的碳化硅抛光机,包括底座,所述底座的上侧面设有固定板以及由第二电机带动进行旋转的第一抛光平台和第二抛光平台。该自动清洁抛光台的碳化硅抛光机,通过设有的第一抛光平台和第二抛光平台并且通过打磨装置和抛光装置对于碳化硅进行抛光,这样可以对于碳化硅有一个初步的磨平棱角的工序,不仅方便了下面的抛光工序,而且使得抛光更为彻底,通过洒水支架和擦拭支架可以对使用过的第二抛光平台进行擦洗,方便了工作之后的清洁,而且从一定程度上还可以节约抛光时间和成本,具有很强的实用性。
申请公布号 CN205703679U 申请公布日期 2016.11.23
申请号 CN201620388317.1 申请日期 2016.04.29
申请人 山东天岳晶体材料有限公司 发明人 宗艳民
分类号 B24B29/02(2006.01)I;B24B7/22(2006.01)I;B24B41/00(2006.01)I;B24B47/12(2006.01)I;B24B57/02(2006.01)I 主分类号 B24B29/02(2006.01)I
代理机构 济南舜源专利事务所有限公司 37205 代理人 苗峻
主权项 一种可自动清洁抛光台的碳化硅抛光机,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上侧面设有固定板(12)以及由第二电机(11)带动进行旋转的第一抛光平台(2)和第二抛光平台(3),所述第一抛光平台(2)的一侧设有垂直安装于底座(1)的打磨装置(5),所述打磨装置(5)包括位于第一抛光平台(2)正上方的打磨棒(10);所述的固定板(12)上设置有储液仓(13)和抛光装置(6),储液仓(13)底端连通抛光液输送管(7)一端,抛光液输送管(7)另一端连接有位于第二抛光平台(3)正上方的喷头(8);所述的抛光装置(6)包括位于第二抛光平台(3)正上方的抛光片(15);在第二抛光平台(3)上设有清洁装置,所述的清洁装置包括平行于第二抛光平台(3)中心轴且由第二抛光平台(3)中心位置穿出的可伸缩的第一转动轴(9),所述的第一转动轴(9)下端连接至第一电机(4)的输出轴,第一转动轴(9)上端活动连接有与其垂直的洒水支架(14)和擦拭支架(17),所述的擦拭支架(17)长度不小于第二抛光平台(3)中心到侧边的最大距离且擦拭支架(17)上固定有刷毛。
地址 250118 山东省济南市槐荫区美里湖美里路中段