| 发明名称 | 用于晶圆的预对准装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于晶圆的预对准装置，其特征在于，包括：一边缘视觉采集系统，用于根据该晶圆上的边缘或缺口标记，实现对该晶圆的第一次位置补偿；一标记探测系统，用于根据位于该晶圆上的两个对称的对准标记，实现对该晶圆的第二次位置补偿；该边缘视觉采集系统和该标记探测系统分别位于该晶圆的两侧。 | ||
| 申请公布号 | CN106158715A | 申请公布日期 | 2016.11.23 |
| 申请号 | CN201510203515.6 | 申请日期 | 2015.04.24 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 王刚;蒲运斌;王邵玉;郑教增;姜杰 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅 |
| 主权项 | 一种用于晶圆的预对准装置，其特征在于，包括：一边缘视觉采集系统，用于根据所述晶圆上的边缘或缺口标记，实现对所述晶圆的第一次位置补偿；一标记探测系统，用于根据位于所述晶圆上的至少两个对准标记，实现对所述晶圆的第二次位置补偿。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||