| 发明名称 | 一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置，装置包括密封壳体(5)和封口装置(7)，密封壳体(5)具有一个腔室(51)，腔室(51)用于容纳发热元件并具有一个开口端；腔室(51)的内壁上形成有支承部(52)，该支承部(52)支承发热元件的边缘，用于将发热元件产生的热量传送到密封壳体(5)；封口装置(7)位于密封壳体(5)的开口端，用于封闭所述腔室(51)；发热元件与支承部(52)相接的部分可设置热界面材料(4)；密封壳体(5)的壁面内部或外部可设置冷却装置(6)以冷却密封壳体(5)。本实用新型可用于对发热元件进行密封及散热，可增加对发热元件的导热性能，适于对极紫外光刻的板级电子学系统进行高效散热。 | ||
| 申请公布号 | CN205726816U | 申请公布日期 | 2016.11.23 |
| 申请号 | CN201620185955.3 | 申请日期 | 2016.03.11 |
| 申请人 | 中国科学院光电研究院 | 发明人 | 王魁波;张罗莎;吴晓斌;陈进新;罗艳;谢婉露;周翊;王宇 |
| 分类号 | H05K7/20(2006.01)I | 主分类号 | H05K7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 乔东峰 |
| 主权项 | 一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置，用于对发热元件进行密封及散热，包括密封壳体(5)、封口装置(7)和冷却装置，其特征在于：所述密封壳体(5)具有一个腔室(51)，该腔室(51)用于容纳发热元件并具有一个开口端；所述腔室(51)的内壁上形成有支承部(52)，该支承部(52)用于支承所述发热元件的边缘；所述封口装置(7)位于所述密封壳体(5)的开口端，用于封闭所述腔室(51)；所述发热元件与所述支承部(52)相接的部分设置有热界面材料(4)，该发热元件的边缘通过该热界面材料(4)与支承部(52)连接；所述冷却装置与所述密封壳体(5)接触，用于冷却所述密封壳体(5)。 | ||
| 地址 | 100094 北京市海淀区邓庄南路9号 | ||