| 发明名称 | 一种均匀性的多弧离子镀膜设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种均匀性的多弧离子镀膜设备，包括多弧靶、真空室、设置在真空室内的路轨和架体；所述的架体上设有支撑件、中心轴、回转盘；用于支撑架体的支撑件移动式地安装在路轨上，回转盘套装在中心轴上，回转盘上设有相对回转盘转动的自转轴，自转轴上设有夹具，安装在真空室上的多弧靶朝向夹具。镀膜设备还包括直线驱动机构，真空室上设有第二密封装置，所述的直线驱动机构穿过第二密封装置与架体相接。所述的液压缸穿过第二密封装置连接在伸出臂上，液压缸的活塞杆的端部设有用于抓紧伸出臂的抓爪。本实用新型能实现工件镀膜均匀度的修正，提高了产品整体的品质，属于真空镀膜的技术领域。 | ||
| 申请公布号 | CN205710894U | 申请公布日期 | 2016.11.23 |
| 申请号 | CN201620667913.3 | 申请日期 | 2016.06.27 |
| 申请人 | 广东腾胜真空技术工程有限公司 | 发明人 | 朱文廓;朱刚劲;朱刚毅 |
| 分类号 | C23C14/32(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人 | 裘晖 |
| 主权项 | 一种均匀性的多弧离子镀膜设备，其特征在于：包括多弧靶、真空室、设置在真空室内的路轨和架体；所述的架体上设有支撑件、中心轴、回转盘；用于支撑架体的支撑件移动式地安装在路轨上，回转盘套装在中心轴上，回转盘上设有相对回转盘转动的自转轴，自转轴上设有夹具，安装在真空室上的多弧靶朝向夹具。 | ||
| 地址 | 526060 广东省肇庆市端州一路宾日工业村 | ||