| 摘要 |
본 발명은, 슬러리의 사용량을 줄임과 더불어, 효율적으로 슬러리를 순환 이용할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다. 연마 장치(1)는, 척 테이블(3)의 하측에서 슬러리(45)를 저류하여 연마 패드(25)의 연마면(25a)에 슬러리(45)를 순환 공급하는 슬러리 순환 수단(50)을 구비하고, 슬러리 순환 수단(50)은, 척 테이블(3)의 주위에서 슬러리(45)를 저류하는 오목 형상의 통부(51)와, 상기 연마면(25a)을 향해 에어를 분출하는 에어 분출구(56)를 통부(51)에 저류된 슬러리 중에 갖는 에어 공급 수단(55)을 구비하기 때문에, 통부(51)에 슬러리(45)를 저류해 둘 수 있음과 더불어 에어 공급 수단(55)이 에어 분출구(56)로부터 에어를 분출시키고 통부(51)에 저류된 슬러리(45)를 뿜어 올려 연마 패드(25)의 연마면(25a)에 슬러리(45)를 순환 공급할 수 있다. 따라서, 슬러리(45)의 사용량을 줄임과 더불어 효율적으로 슬러리(45)를 순환 이용할 수 있다. |
