一种减轻顶部保温材料受腐蚀的热场结构

摘要

本实用新型涉及一种减轻顶部保温材料受腐蚀的热场结构，包括坩埚、护板、发热体、顶保温层、侧保温层和底保温层；发热体位于坩埚外周、包围住坩埚的侧面和底面；顶保温层位于坩埚上方，护板位于顶保温层表面；侧保温层和底保温层分别位于发热体外围和底部。本实用新的有益效果是：避免SiC蒸汽在保温材料内部沉积和腐蚀，从而保证在晶体生长全过程中，顶部保温材料维持恒定的保温效果，从而保证晶体生长的稳定性。

主权项

一种减轻顶部保温材料受腐蚀的热场结构，其特征在于：包括坩埚、护板、发热体、顶保温层、侧保温层和底保温层；所述的发热体位于坩埚外周、包围住坩埚的侧面和底面；所述的顶保温层位于坩埚上方，所述的护板位于顶保温层下方，并覆盖顶保温层下表面；所述的侧保温层和底保温层分别位于发热体外围和底部。