Feldeffekteinrichtung, Verfahren zum Betreiben dieser Feldeffekteinrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Feldeffekteinrichtung

摘要

Feldeffekteinrichtung, aufweisend: • einen Bodybereich (101) eines zweiten Leitfähigkeitstyps; • einen Wannenbereich (102) eines ersten Leitfähigkeitstyps, der in dem Bodybereich (101) gebildet ist; • einen ersten Source-/Drainbereich (103) des ersten Leitfähigkeitstyps; • einen zweiten Source-/Drainbereich (104) des ersten Leitfähigkeitstyps oder des zweiten Leitfähigkeitstyps, der in dem Wannenbereich (102) gebildet ist; • einen dotierten Bereich (109) des ersten Leitfähigkeitstyps, der lateral angrenzend an den ersten Source/Drain-Bereich (103) gebildet ist; und • einen Taschenimplantationsbereich (107) benachbart zu dem ersten Source-/Drainbereich (103), wobei der Taschenimplantationsbereich (107) vom zweiten Leitfähigkeitstyp ist; • wobei sich der zweite Leitfähigkeitstyp von dem ersten Leitfähigkeitstyp unterscheidet; • wobei der Bodybereich (101) den Taschenimplantationsbereich (107) körperlich kontaktiert; • wobei der Dotierstoffkonzentrationspegel des dotierten Bereichs (109) niedriger ist als der Dotierstoffkonzentrationspegel des ersten Source/Drain-Bereichs (103); und • wobei der Dotierstoffkonzentrationspegel des Taschenimplantationsbereichs (107) höher als der Dotierstoffkonzentrationspegel des Bodybereichs (101), höher als der Dotierstoffkonzentrationspegel des Wannenbereichs (102) und höher als der Dotierstoffkonzentrationspegel des dotierten Bereichs (109) ist.