发明名称 一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板
摘要 本实用新型公开一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板,所述掩模板包括ITO面和蒸镀面,所述蒸镀面上设有的纳米层,所述蒸镀面上设有弧形槽,所述ITO面上设有蒸镀孔,所述蒸镀孔与所述弧形槽相连通,所述蒸镀孔在ITO面开口的尺寸小于所述弧形槽相在蒸镀面的开口的尺寸,蒸镀孔开设在弧形槽内,非常方便蒸镀孔的加工,弧形槽具有一定的高度,使得蒸镀孔的高度可以进一步的降低,从而保证了更好的蒸镀效果,提高了有机材料的成膜率,提高了蒸镀薄膜的均匀度。
申请公布号 CN205687998U 申请公布日期 2016.11.16
申请号 CN201620552370.0 申请日期 2016.06.07
申请人 光宏光电技术(深圳)有限公司 发明人 陈孟财
分类号 C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I 主分类号 C23C14/04(2006.01)I
代理机构 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 代理人 曾新浩
主权项 一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板,其特征在于,所述掩模板包括ITO面和蒸镀面,所述蒸镀面上设有的纳米层,所述蒸镀面上设有弧形槽,所述ITO面上设有蒸镀孔,所述蒸镀孔与所述弧形槽相连通,所述蒸镀孔在ITO面的开口的尺寸小于所述弧形槽在蒸镀面的开口的尺寸。
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