发明名称 |
一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板 |
摘要 |
本实用新型公开一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板,所述掩模板包括ITO面和蒸镀面,所述蒸镀面上设有的纳米层,所述蒸镀面上设有弧形槽,所述ITO面上设有蒸镀孔,所述蒸镀孔与所述弧形槽相连通,所述蒸镀孔在ITO面开口的尺寸小于所述弧形槽相在蒸镀面的开口的尺寸,蒸镀孔开设在弧形槽内,非常方便蒸镀孔的加工,弧形槽具有一定的高度,使得蒸镀孔的高度可以进一步的降低,从而保证了更好的蒸镀效果,提高了有机材料的成膜率,提高了蒸镀薄膜的均匀度。 |
申请公布号 |
CN205687998U |
申请公布日期 |
2016.11.16 |
申请号 |
CN201620552370.0 |
申请日期 |
2016.06.07 |
申请人 |
光宏光电技术(深圳)有限公司 |
发明人 |
陈孟财 |
分类号 |
C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 |
代理人 |
曾新浩 |
主权项 |
一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板,其特征在于,所述掩模板包括ITO面和蒸镀面,所述蒸镀面上设有的纳米层,所述蒸镀面上设有弧形槽,所述ITO面上设有蒸镀孔,所述蒸镀孔与所述弧形槽相连通,所述蒸镀孔在ITO面的开口的尺寸小于所述弧形槽在蒸镀面的开口的尺寸。 |
地址 |
518000 广东省深圳市西乡镇鹤州恒丰工业城C5栋4楼 |