| 发明名称 |
CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS AND METHOD OF DIAGNOSING ABRASION OF MEMBRANE COATING LAYER |
| 摘要 |
멤브레인 코팅막의 마모 여부를 판단하고 진단할 수 있는 방법 및 화학 기계적 기판 연마장치가 개시된다. 화학 기계적 기판 연마장치는, 기판을 파지하는 기판 캐리어가 이동하는 경로 상에 구비되고, 상기 기판 캐리어에 구비되는 멤브레인의 코팅막에 맺힌 물방울을 촬영하여 상기 코팅막의 마모 여부를 측정 및 판단하는 진단부를 구비한다. |
| 申请公布号 |
KR20160131184(A) |
申请公布日期 |
2016.11.16 |
| 申请号 |
KR20150062982 |
申请日期 |
2015.05.06 |
| 申请人 |
K.C.TECH CO., LTD. |
发明人 |
CHO, MOON GI;KIM, JI WOOK |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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