一种基于二分束棱镜与扫描振镜组合光学系统

摘要

本发明公开了一种基于二分束棱镜与扫描振镜组合光学系统，包括两片二分束棱镜、两片扫描振镜和消像差聚焦镜组，两片二分束棱镜中心轴同轴，两片振镜与消像差聚焦镜组构成基本的振镜扫描光学系统，在轴对称平行或行光束入射下，依次经过两片分束棱镜分束、两片扫描振镜偏向及消像差聚焦镜组聚焦，通过改变两片二分束棱镜棱间夹角，旋转两片扫描振镜转轴，能够实现焦平面上一定范围内任意单焦点、间距与方向可变双焦点、单焦点扫描图形、间距与方向可变双焦点扫描图形等多种功能的激光振镜加工。本发明结构设计新颖，实现了一种具备多种激光加工功能的光学振镜系统，极大程度提高了激光加工质量与加工效率。

主权项

一种基于二分束棱镜与扫描振镜组合光学系统,其特征在于：包括第一二分束棱镜、第二二分束棱镜、第一扫描振镜、第二扫描振镜和消像差聚焦镜组，所述第一二分束棱镜、所述第二二分束棱镜中心轴同轴，所述第一扫描振镜、第二扫描振镜和消像差聚焦镜组构成振镜扫描光学系统。