发明名称 HIGH-DEGREE VACUUM GATE VALVE
摘要 본 발명은 게이트 밸브를 개시한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브는 공정 챔버에 형성된 가스 유입구에 구비되는 게이트 밸브에 있어서, 상기 가스 유입구에 결합되는 바디부; 및 상기 바디부 내부에 제자리에서 회전 가능하게 구비되고, 적어도 일부가 구형으로 형성되며, 회전 각도에 따라 상기 가스 유입구와 연통되는 관통홀이 형성되는 개폐부를 포함할 수 있다.
申请公布号 KR20160131564(A) 申请公布日期 2016.11.16
申请号 KR20150064280 申请日期 2015.05.08
申请人 YK TECHNOLOGY INC. 发明人 KIM, YONG KI;AN, KYEONG JIN
分类号 F16K3/22;F16K3/30;F16K5/06;F16K31/04;F16K31/12 主分类号 F16K3/22
代理机构 代理人
主权项
地址