发明名称 |
HIGH-DEGREE VACUUM GATE VALVE |
摘要 |
본 발명은 게이트 밸브를 개시한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브는 공정 챔버에 형성된 가스 유입구에 구비되는 게이트 밸브에 있어서, 상기 가스 유입구에 결합되는 바디부; 및 상기 바디부 내부에 제자리에서 회전 가능하게 구비되고, 적어도 일부가 구형으로 형성되며, 회전 각도에 따라 상기 가스 유입구와 연통되는 관통홀이 형성되는 개폐부를 포함할 수 있다. |
申请公布号 |
KR20160131564(A) |
申请公布日期 |
2016.11.16 |
申请号 |
KR20150064280 |
申请日期 |
2015.05.08 |
申请人 |
YK TECHNOLOGY INC. |
发明人 |
KIM, YONG KI;AN, KYEONG JIN |
分类号 |
F16K3/22;F16K3/30;F16K5/06;F16K31/04;F16K31/12 |
主分类号 |
F16K3/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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