发明名称 用于LED封装的带有凹坑和通孔的基板
摘要 本发明提供了含有多个发光二极管(LED)基板的晶圆以及制作LED基板的方法。晶圆的多个LED基板中的每个基板包括:衬底(201),包括通孔(203a);LED芯片(208),安装在衬底(201)的第一侧的凹坑(204)中并且连接至通孔(203a);再布线层(205a),附接至衬底(201)的第二侧并且通过通孔(203a)连接至LED芯片(208)。所述方法包括提供晶圆作为衬底(201);在衬底(201)的第一侧在衬底(201)中提供凹坑(204);在衬底(201)中提供通孔(203a),在衬底(201)的第二侧提供再布线层(205a),以及将LED(208)安装在凹坑(204)中,其中LED芯片(208)通过通孔(203a)连接至再布线层(205a)。
申请公布号 CN103748700B 申请公布日期 2016.11.16
申请号 CN201280025715.1 申请日期 2012.06.01
申请人 香港科技大学 发明人 李世玮;张荣
分类号 H01L33/48(2006.01)I;H01L33/62(2006.01)I;H01L33/64(2006.01)I 主分类号 H01L33/48(2006.01)I
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人 陈源;顾丽波
主权项 一种制作LED基板的方法,包括:提供晶圆作为衬底;在衬底第一侧的衬底中设置凹坑;在衬底中设置通孔,其中设置通孔还包括:在衬底第二侧的衬底中设置盲孔;在盲孔内填充金属;以及从第一侧,蚀刻衬底以在凹坑中暴露盲孔中的金属从而产生通孔;在衬底第二侧上设置再布线层,其中设置再布线层还包括:在衬底的第二侧上设置金属层;以及将金属层图形化以产生再布线层;在凹坑内安装LED芯片,其中LED芯片通过通孔与再布线层相连。
地址 中国香港九龙清水湾