一种便携式光学干涉法球径球度快速检测仪

摘要

一种便携式光学干涉法球径球度快速检测仪，包括手持测头、主机和显示器；手持测头的前端为一基准光学玻璃样板，周围自带单色光照明，检测时将基准光学玻璃样板与被测球或球碗零件贴合，因球径差产生的干涉条纹图形经CCD系统成像并输出，基于光学干涉原理和已知单色光波长、光圈数、光圈形状及其相互关系对该干涉条纹进行图像处理及计算，由显示器输出球径球度值及简化后的干涉条纹图形。本发明携带方便，使用灵活，可实现零件加工时的在线检测，极大地提高了高精度球形零件的检测效率。

主权项

一种便携式光学干涉法球径球度快速检测仪，其特征在于：包括手持测头、主机和显示器；手持测头由基准光学玻璃样板、激光照明系统、成像系统及按钮开关构成；基准光学玻璃样板插装在通光套筒上，位于手持测头的前端，目的是方便不同球径基准光学玻璃样板间的快速更换，并与被测球形零件接触；激光照明系统为基准光学玻璃样板提供激光单色光照明，激光单色光是通过通体发亮光纤将激光从发射端导入，并将该通体发亮光纤缠绕在通光套筒上，实现对基准光学玻璃样板进行照明；按钮开关用于控制激光照明系统的激光单色光照明；基准光学玻璃样板后方是成像系统，成像系统对基准光学玻璃样板与被测零件接触之间的球径差产生的干涉条纹图像成像，成像后的图像被传送至主机中图像处理器，图像处理器经图像处理和软件计算得出的被测球形零件的球径和球度值在显示器上输出。