| 摘要 |
Ein Rotor (66) einer Vakuumpumpe (10), insbesondere einer Turbomolekularpumpe, umfasst eine um eine Rotorachse (68) drehbar gelagerte Rotorwelle (70) und mehrere an der Rotorwelle angeordnete, in axialer Richtung aufeinanderfolgende, jeweils mehrere Rotorschaufeln (72) umfassende Rotorebenen (22). Dabei ist die Anzahl von Rotorschaufeln (72) in einer jeweiligen Rotorebene (22) im ansaugseitigen Hochvakuumbereich (74) der Vakuumpumpe insbesondere um das 2- bis 4-fache geringer als in einer jeweiligen Rotorebene (22) im Vorvakuum- oder Niedervakuumbereich (76) der Vakuumpumpe. Es wird auch ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Rotors (66) angegeben. |
