发明名称 |
一种基于快速退火金属薄膜自组装纳米粒子的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种基于快速退火金属薄膜自组装金属纳米粒子的方法,其特征在于步骤如下:首先,在衬底材料上沉积一层金属薄膜,形成镀有金属薄膜的基片;然后将基片置于快速退火炉中,加载退火程序进行退火处理,通过对起始温度、升温速率、驻温时间和在退火处理中保护气体的流量控制进行快速热退火,得到制备了一层金属纳米粒子的基片。该方法采用在基片上生长纳米颗粒,其成本低、简单易行,能够得到分散均匀、粒径一致、形貌可控的纳米颗粒。 |
申请公布号 |
CN106119804A |
申请公布日期 |
2016.11.16 |
申请号 |
CN201610699894.7 |
申请日期 |
2016.08.22 |
申请人 |
电子科技大学 |
发明人 |
姬海宁;何银春;王志明;吴杰;申超群;丁庆华;郑泽瑞;刘德胜;牛晓滨;李含冬;巫江;周志华;戴丽萍 |
分类号 |
C23C14/58(2006.01)I;B22F9/04(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I |
主分类号 |
C23C14/58(2006.01)I |
代理机构 |
成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 |
代理人 |
冉鹏程 |
主权项 |
一种基于快速退火金属薄膜自组装纳米粒子的方法,其特征在于步骤如下:首先,在衬底材料上沉积一层金属薄膜,形成镀有金属薄膜的基片;然后将基片置于快速退火炉中,加载退火程序进行退火处理,通过对起始温度、升温速率、驻温时间和在退火处理中保护气体的流量控制进行快速热退火,得到制备了一层纳米粒子的基片。 |
地址 |
611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号 |