複核ルテニウム錯体からなる化学蒸着用原料及び該化学蒸着用原料を用いた化学蒸着法

摘要

【課題】融点が低く、好ましくは常温で液体であるとともに、適度な熱安定性を有し、高純度のルテニウム薄膜又はルテニウム化合物薄膜を形成可能な化学蒸着用原料の提供。【解決手段】化学蒸着法によりルテニウム薄膜又はルテニウム化合物薄膜を製造するための化学蒸着用原料において、式（１）で示される、金属結合した２つのルテニウムに、カルボニルと、窒素を含有する有機配位子（Ｌ）と、が配位した複核ルテニウム錯体からなる化学蒸着用原料。【選択図】図３