| 摘要 |
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Bestrahlungsvorrichtung (100) Folgendes aufweisen: mindestens eine Gasentladungsröhre (102) zum Bestrahlen eines Substrats (120) innerhalb eines Bestrahlungsbereichs (111), eine Gaszuführung (104) zum Kühlen der mindestens einen Gasentladungsröhre (102) mittels eines Gases, wobei die mindestens eine Gasentladungsröhre (102) zwischen dem Bestrahlungsbereich (111) und der Gaszuführung (104) angeordnet ist, wobei die Gaszuführung (104) mindestens eine Gasaustrittsöffnung (104o) derart aufweist, dass die mindestens eine Gasentladungsröhre (102) zumindest abschnittsweise mit Gas, welches aus der Gasaustrittsöffnung (104o) austritt, umflossen wird. |
