检测系统

摘要

本实用新型提供了一种检测系统，用于对一基板的质量状态进行检测，所述基板通过生产设备加工处理，所述生产设备包括用于处理基板的工作单元，所述检测系统包括控制器以及至少一个检测器，至少一个所述检测器连接所述控制器并设置于所述工作单元的一侧，用于根据所述控制器发送的指令获取所述基板在所述工作单元处理之前的质量状态信息，所述控制器用于读取并显示所述基板的质量状态信息。本实用新型通过至少一个检测器检测基板在工作单元处理之前的质量状态，便于将异常的基板隔离在工艺处理之前，避免了因基板的异常导致的生产设备停机、生产部件损坏等问题。

主权项

一种检测系统，用于对一基板的质量状态进行检测，所述基板通过一生产设备加工处理，所述生产设备包括用于处理所述基板的一工作单元，其特征在于，所述检测系统包括控制器以及至少一个检测器；至少一个所述检测器连接所述控制器并设置于所述基板的一侧，用于根据所述控制器发送的指令获取所述基板在所述工作单元处理之前的质量状态信息，所述控制器用于读取并显示所述基板的质量状态信息。