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자기-정렬된 국부적 상호접속부들을 위한 방법들, 구조들, 및 설계들이 제공된다. 방법은, 기판 내에 있게 될 확산 영역들을 설계하는 단계를 포함한다. 복수의 게이트들의 일부는 활성 게이트들이 되도록 설계되고, 복수의 게이트들의 일부는 분리 영역들 위에 형성되도록 설계된다. 방법은, 동일한 방향을 따르는 규칙적이고 반복하는 정렬로 복수의 게이트들을 설계하는 단계를 포함하며, 복수의 게이트들의 각각은 유전체 스페이서들을 갖도록 설계된다. 또한, 방법은, 복수의 게이트들 사이에 또는 복수의 게이트들에 인접하게 국부적 상호접속부 층을 설계하는 단계를 포함한다. 국부적 상호접속부 층은 도전성이고, 기판 위에 배치되어, 활성 게이트들의 확산 영역들의 일부와의 또는 활성 게이트들의 확산 영역들의 일부로의 전기적 접촉 및 상호접속을 허용한다. 국부적 상호접속부 층은 복수의 게이트들의 유전체 스페이서들에 의해 자기-정렬된다. |
