| 发明名称 | 用于电子器件的测试装置的高平面性探针卡 | ||
| 摘要 | 本发明描述了一种用于电子器件的测试装置的探针卡，包括：至少一个容纳多个接触探针(22)的测试头(21)，各接触探针(22)具有至少一适合于接靠在待测器件(25)的接触垫上的接触尖端，以及与加强件(24)和中间支承件(26)关联的所述测试头(21)的支承板(23)，该中间支承件(26)连接至所述支承板(23)并适合在所述中间支承件(26)的相对两侧上制得的接触垫之间提供距离的空间变换。合宜地，所述探针卡包括与所述中间支承件(26)结合的支承元件(28)，所述支承元件(28)由刚度大于所述中间支承件(26)的材料制得，由此能够实现所述中间支承件(26)的局部微观校正。 | ||
| 申请公布号 | CN106104280A | 申请公布日期 | 2016.11.09 |
| 申请号 | CN201580012043.4 | 申请日期 | 2015.03.05 |
| 申请人 | 泰克诺探头公司 | 发明人 | 里卡尔多·李博瑞尼;菲利波·戴尔奥尔托;罗伯特·克里帕 |
| 分类号 | G01R1/073(2006.01)I | 主分类号 | G01R1/073(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人 | 葛强;雷丽 |
| 主权项 | 用于电子器件的测试装置的探针卡(20)，包括：至少一个容纳多个接触探针(22)的测试头(21)，各接触探针(22)具有至少一适合于接靠在待测器件(25)的接触垫上的接触尖端；以及与加强件(24)和中间支承件(26)关联的所述测试头(21)的支承板(23)，该中间支承件(26)连接至所述支承板(23)并适合于在所述中间支承件(26)的相对两面上制得的接触垫之间提供距离的空间变换，其特征在于，所述探针卡(20)包括与所述中间支承件(26)结合的支承元件(28)，所述支承元件(28)由刚度大于所述中间支承件(26)的材料制得，所述结合能够实现所述中间支承件(26)的局部微观校正。 | ||
| 地址 | 意大利莱科 | ||