可实现纳米级分辨率的空间电荷全光学测量方法

摘要

本发明涉及电学性能测量技术领域，尤其是一种可实现纳米级分辨率的空间电荷全光学测量方法，测量步骤为在具有电极的试样上加一个陡峭的高压脉冲，介质中的空间电荷受到脉冲电场力的作用会发生一定的位移，这可以在介质中激发出弹性波，该弹性波携带了空间电荷的分布信息，通过对其测量和分析，就可以得到空间电荷在介质中的分布状态。本发明利用超短电磁波激发和弹光取样技术，实现具有纳米级分辨率的空间电荷分布测量方法，对材料中存在的空间电荷进行更精细的测量。

主权项

一种可实现纳米级分辨率的空间电荷全光学测量方法，其特征在于，测量步骤为在具有电极的试样上加一个陡峭的高压脉冲，介质中的空间电荷受到脉冲电场力的作用会发生一定的位移，这可以在介质中激发出弹性波，该弹性波携带了空间电荷的分布信息，通过对其测量和分析，就可以得到空间电荷在介质中的分布状态。