包括光学应变仪的远程位移传感器的装置及其系统

摘要

本公开涉及远程位移传感器，例如光学应变仪，其使用由图案实施的光学放大器，例如，但不限于莫尔图案，以计算在位置或计量长度中的变化。在该实施例中由具有莫尔图案的应变仪实施，提供两个箔，下箔层具有由在第一图案频率处具有平行线的第一图案和在第二图案频率处具有平行线的第二图案的重叠产生的参考或静态莫尔图案。该下箔进一步包括在第一基频处具有平行线的第一图案的第一图段，同时该顶层具有在第二基频处具有平行线的第二图案的第二图段。所述箔的相互覆盖产生该第一和第二图段的重叠因此产生与参考图案相同的莫尔图案。然而，所述两个箔的相对运动垂直于所述平行线，响应于对样本上拉伸响应的在计量长度中的运动，生成大于所述相对运动的在所述重叠图案中的相变。所述光学应变仪的图像由相机或其它光学设备捕获且产生的图像通过快速傅里叶变换或相似的算法处理以测定所述相变，因此计算在计量长度中的所述变化及因此产生的拉伸。

主权项

一种光学位移测量装置，其包括第一基底，其包括具有形成在所述第一基底上的第一图案的第一区域；第二基底，其包括具有形成在所述第二基底上的第二图案的第二区域；所述第一基底或者第二基底包括固定的参考图案；第二基底覆盖在所述第一基底上面，由此第二图案叠置在第一图案上并且第一图案和第二图案产生调制亮度图案，将其与固定的参考图案比较以测定所述第一基底和第二基底相对于彼此的相对运动；其中，所述第一基底在第一连接点处与拟测量的表面相连且所述第二基底在第二连接点处与拟测量的表面相连；以及在第一连接点和第二连接点之间的距离限定计量长度，并且在所述计量长度中的变化引起所述调制亮度图案相对于所述固定的参考图案的相移。