| 摘要 |
기판의 깨짐, 절결 등의 이상을 검출할 수 있는 검출부를 구비한 기판 처리 장치를 제공한다. 또한, 기판의 깨짐 등의 이상을 검출하는 방법을 제공한다. 기판을 연마하는 연마 유닛(3A~3D)과, 연마된 기판을 세정하는 세정 유닛(73, 74)과, 기판의 이상을 검출하는 기판 이상 검출부(40)와, 기판을, 연마 유닛(3A~3D), 기판 이상 검출부(40), 및 세정 유닛(73, 74)에 이 순서대로 반송하는 기판 반송 기구(6, 12, 77)를 구비하고, 기판 이상 검출부(40)는 기판을 촬상하는 촬상 수단(42)과, 촬상 수단(42)으로부터 얻어진 신호를 소정의 역치와 비교하여, 기판의 상태를 판단하는 출력 감시부(45)를 갖는다. |
