| 摘要 |
本発明は、個々のミラー（１１０）とミラーモジュール面（１２９）とを有し、少なくとも１つの側に非反射性縁部領域（１２０）とモジュール縁部（１２１）とを有する少なくとも２つのミラーモジュール（１０５）を含み、ミラーモジュール（１０５）内の隣接する個々のミラー（１１０）が、互いから非反射性縁部領域（１２０）の幅の半分よりも小さい距離にあり、隣接ミラーモジュール（１０５）の少なくとも２つの隣接モジュール縁部（１２１）が、２つのミラーモジュール面（１２９）の一方の表面法線（１３５）に沿って高さｈだけ互いに対してオフセットされる方式で配置される特にＥＵＶマイクロリソグラフィのための投影露光装置における光学構成要素として使用されるファセットミラー（１００）に関する。【選択図】図１ |
