| 发明名称 | 传感器元件、力检测装置以及机械臂 | ||
| 摘要 | 本发明涉及传感器元件、力检测装置以及机械臂，其中，传感器元件是具备由三方晶系的单晶形成的压电基板和配置于上述压电基板的电极的传感器元件，上述压电基板的基板面包含晶轴的电轴，并且上述基板面与包含上述电轴和上述晶轴的光轴的面所成的角度θ是：0°＜θ＜20°。 | ||
| 申请公布号 | CN103091004B | 申请公布日期 | 2016.10.26 |
| 申请号 | CN201210444127.3 | 申请日期 | 2012.11.08 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 河合宏纪 |
| 分类号 | G01L1/16(2006.01)I;B25J19/02(2006.01)I;B25J13/08(2006.01)I | 主分类号 | G01L1/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 舒艳君;李伟 |
| 主权项 | 一种传感器元件，其特征在于，是具备由三方晶系的单晶形成的压电基板、配置于所述压电基板的一方的基板面的第1电极、和配置于另一方的基板面的第2电极的传感器元件，所述压电基板的所述基板面包含晶轴的电轴，所述基板面与包含所述电轴和所述晶轴的光轴的面所成的角度θ是：0°＜θ＜20°。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||