| 发明名称 | 回收废光刻胶剥离剂的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及回收废光刻胶剥离剂的方法，所述方法包括以下步骤：使包含40重量％到75重量％的至少一种胺化合物、20重量％到55重量％的亚烷基二醇化合物、以及1重量％到10重量％的添加剂的回收液体接触废光刻胶剥离剂的纯化液体。 | ||
| 申请公布号 | CN106062638A | 申请公布日期 | 2016.10.26 |
| 申请号 | CN201580012366.3 | 申请日期 | 2015.07.10 |
| 申请人 | 株式会社LG化学 | 发明人 | 朴泰文;郑大哲;李东勋;李佑然;李贤浚;金周永 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 顾晋伟;苏虹 |
| 主权项 | 一种回收废光刻胶剥离剂的方法，其包括以下步骤：使包含40重量％到75重量％的至少一种胺化合物、20重量％到55重量％的亚烷基二醇化合物、以及1重量％到10重量％的添加剂的回收液体接触废光刻胶剥离剂的纯化液体。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||