发明名称 |
光电转换装置 |
摘要 |
提供一种光电转换装置,能够抑制p层或者n层的掺杂物向相邻的层扩散。光电转换装置(1)具备硅基板(10)、形成于硅基板(10)的一个面并且实质上是本征的本征非晶质层(11)以及形成于本征非晶质层(11)上的第1导电类型非晶质层(12)。第1导电类型非晶质层(12)包括第1浓度层(121)和层叠于第1浓度层(121)的第2浓度层(122)。第2浓度层(122)的掺杂物浓度是8×10<sup>17</sup>cm<sup>‑3</sup>以上且低于第1浓度层的掺杂物浓度。 |
申请公布号 |
CN106062973A |
申请公布日期 |
2016.10.26 |
申请号 |
CN201580012504.8 |
申请日期 |
2015.04.03 |
申请人 |
夏普株式会社 |
发明人 |
原田真臣;酒井敏彦;菅沼利人;辻埜和也;国吉督章;神川刚 |
分类号 |
H01L31/0747(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0747(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
权太白;戚传江 |
主权项 |
一种光电转换装置,其特征在于,具备:硅基板;本征非晶质层,形成于所述硅基板的一个面,并且实质上是本征的;以及第1导电类型非晶质层,形成于所述本征非晶质层上,所述第1导电类型非晶质层包括第1浓度层以及层叠于所述第1浓度层的第2浓度层,所述第2浓度层的掺杂物浓度是8×10<sup>17</sup>cm<sup>‑3</sup>以上且低于所述第1浓度层的掺杂物浓度。 |
地址 |
日本大阪府堺市 |