| 发明名称 |
Sorteer/opslaginrichting voor wafers en werkwijze voor het hanteren daarvan. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL1010317(C2) |
申请公布日期 |
2000.05.01 |
| 申请号 |
NL19981010317 |
申请日期 |
1998.10.14 |
| 申请人 |
ASM INTERNATIONAL N.V. |
发明人 |
ALBERT HASPER;SEBASTIAAN ELIZA NOOTEN;MENSO HENDRIKS |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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