一种阵列基板及其制备方法、显示装置

摘要

本发明提供一种阵列基板及其制备方法、显示装置，属于显示技术领域，其可解决现有的沟道处的段差大易导致台阶处源漏极短接、有机层过孔处易发生光刻胶残留造成显示不良的问题。本发明的阵列基板中，在栅极绝缘层远离栅极的一侧设置凹部，将有源层设于凹部内，使得栅极绝缘层远离栅极的一面与有源层远离栅极的一面尽量齐平。这样形成的源漏极可以平坦的覆盖在其上方，源漏极不会短接。此外，在后续工艺中相当于用栅极绝缘层抬高源漏极，减小有机层过孔处的段差，不会导致光刻胶残留，影响像素电极与源漏极搭接。本发明的阵列基板适用于各种显示装置，尤其适用于像素高的液晶显示装置。

主权项

一种阵列基板，其特征在于，包括多个薄膜晶体管，每个所述薄膜晶体管包括依次形成于衬底上的栅极、位于所述栅极上的栅极绝缘层和有源层，其中，所述栅极绝缘层远离所述栅极的一侧设有凹部，所述有源层设于所述凹部内；所述凹部与所述栅极在衬底上的投影至少部分重合。