压印装置以及物品的制造方法

摘要

本发明提供一种压印装置以及物品的制造方法。所述压印装置利用模具使基板上的压印材料形成图案，并且包括：变形单元，其被构造为使所述模具和所述基板中的至少一者变形；以及控制单元，其被构造为控制处理，该处理是在所述至少一者变形的状态下，开始所述模具与所述压印材料之间的接触，然后通过逐渐减小所述至少一者的变形量，来逐渐增大所述模具与所述压印材料之间的接触面积，其中，所述控制单元基于所述变形量，来控制所述模具与所述基板的相对位置，使得在所述模具与所述压印材料彼此接触的区域，维持所述模具与所述基板之间的相对位置关系。

主权项

一种压印装置，其利用模具使基板上的压印材料形成图案，所述压印装置包括：变形单元，其被构造为使所述模具和所述基板中的至少一者，变形为向另一者突出的凸形；以及控制单元，其被构造为控制处理，该处理是在由所述变形单元使所述至少一者变形的状态下，开始所述模具与所述压印材料之间的接触，然后通过逐渐减小所述变形单元对所述至少一者的变形量，来逐渐增大所述模具与所述压印材料之间的接触面积，其中，所述控制单元基于所述至少一者的变形量，来控制所述模具与所述基板的相对位置，使得在增大所述接触面积的同时，在所述模具与所述压印材料彼此接触的区域维持所述模具与所述基板之间的相对位置关系。