感光性树脂组合物及其应用

摘要

本发明有关于一种感光性树脂组合物及其应用。上述感光性树脂组合物包含碱可溶性树脂(A)、具有乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(D)及溶剂(E)。此感光性树脂组合物可用于制作间隙体或保护膜，且此感光性树脂组合物具有较高的解析度及较少的残渣。

主权项

一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述感光性树脂组合物包含：碱可溶性树脂(A)；具有乙烯性不饱和基的化合物(B)；光起始剂(C)；邻萘醌二叠氮磺酸酯(D)，包含具有如下式(I)所示的结构的邻萘醌二叠氮磺酸酯化合物(D‑1)：于式(I)中，R₁分别独立地代表氢原子、经取代或未取代的烷基、芳香基或烯基；R₂分别独立地代表氢原子或具有醌二叠氮结构的官能基；a、b、d及e分别代表大于或等于0的整数，且f及g的总和为大于或等于1的整数；当a、b、d及e的总和大于1时，多个R₁分别为相同或不同，当f及g的总和大于1时，多个R₂的至少一者具有醌二叠氮结构的官能基；以及溶剂(E)。