| 发明名称 | 具有运动限制器的微机电器件 | ||
| 摘要 | 一种微机电器件，包括第一结构层和可移动块，该可移动块被悬挂以进行相对于第一结构层的主离面运动。在可移动块中蚀刻有悬臂式运动限制器结构，并且在第一结构层上布置有与悬臂式运动限制器结构相对的第一止挡元件。利用元件间距的优化使用来实现改进的机械鲁棒性。 | ||
| 申请公布号 | CN106062566A | 申请公布日期 | 2016.10.26 |
| 申请号 | CN201580010996.7 | 申请日期 | 2015.02.26 |
| 申请人 | 株式会社村田制作所 | 发明人 | 维尔·阿赫泰;维尔-佩卡·吕特克宁 |
| 分类号 | G01P15/125(2006.01)I;G01P15/08(2006.01)I | 主分类号 | G01P15/125(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 杜诚;李春晖 |
| 主权项 | 一种微机电器件，包括：第一结构层；可移动块，所述可移动块被悬挂以进行相对于所述第一结构层的主离面运动；悬臂式运动限制器结构，所述悬臂式运动限制器结构被蚀刻在所述可移动块中，在所述第一结构层上的第一止挡元件，所述第一止挡元件与所述悬臂式运动限制器结构相对。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||