发明名称 |
石英腔体的固定治具及清洗装置 |
摘要 |
本实用新型提供了一种石英腔体的固定治具及清洗装置,所述固定治具用于在对石英腔体进行清洗时固定所述石英腔体,所述固定治具包括基座,于所述基座上具有多个用于固定所述石英腔体的固定导槽,所述固定导槽为与所述石英腔体的开口相互卡合的凹槽结构。本实用新型中,使用一个固定治具实现对多种形状的石英腔体进行固定,可减小资源的浪费。同时,当采用具有本实用新型提供的固定治具的清洗装置对不同形状的石英腔体进行清洗时,可不必繁复的更换固定治具,从而可减小在更换固定治具时对清洗座的损伤,并且可避免固定治具于清洗座上固定不佳的问题。 |
申请公布号 |
CN205657050U |
申请公布日期 |
2016.10.19 |
申请号 |
CN201620490839.2 |
申请日期 |
2016.05.25 |
申请人 |
上海新昇半导体科技有限公司 |
发明人 |
林志鑫;季文明 |
分类号 |
H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/687(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
金华 |
主权项 |
一种石英腔体的固定治具,所述固定治具用于在对石英腔体进行清洗时固定所述石英腔体,其特征在于:所述固定治具包括一基座,于所述基座上具有多个用于固定石英腔体的固定导槽,所述固定导槽为与所述石英腔体的开口相互卡合的凹槽结构。 |
地址 |
201306 上海市浦东新区泥城镇云端路1412弄15号3层 |