真空剥离装置及方法

摘要

本发明概括地涉及真空剥离装置和真空剥离方法。真空剥离装置可包括腔室、设置在所述腔室内的密封保持框、沿密封保持框的底端设置并且配置为能够膨胀的第一气体管、配置为插入密封保持框的的剥离防护板、以及沿剥离防护板的端部设置的第二气体管。

主权项

一种真空剥离装置，包括：腔室，能够将其内部压力改变为大气压力或真空压力；密封保持框，设置在所述腔室内；第一气体管，沿所述密封保持框的底端设置，并且配置为能够膨胀；剥离防护板，配置为插入所述密封保持框的中央；以及第二气体管，沿所述剥离防护板的端部设置，并且配置为能够膨胀，其中，所述第一气体管和所述第二气体管能够膨胀以使所述第一气体管紧密地接触所述密封保持框和目标对象，并且使所述第二气体管紧密地接触所述密封保持框和所述剥离防护板来形成密封空间，以及其中，所述第一气体管和所述第二气体管能够收缩来释放所述密封空间。