| 发明名称 | 基于激光超声的表面缺陷开口宽度的测量装置及其方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了基于激光超声的表面缺陷开口宽度的测量装置及其方法。其步骤为：1)脉冲激光器探头和激光干涉仪探头放置在工件表面缺陷的一侧；2)脉冲激光器在工件表面激励出声表面波，激光干涉仪分别测得直达表面波信号R<sub>1</sub>和从缺陷反射回的表面波信号RR<sub>1</sub>；3)控制二维位移平台运动，使脉冲激光器探头和激光干涉仪探头在表面缺陷的另外一侧；4)重复步骤2)，干涉仪测得直达表面波信号R<sub>2</sub>和从缺陷反射回的表面波信号RR<sub>2</sub>；5)通过两次干涉仪测量得到的直达表面波信号和缺陷回波信号到达时间，以及二维运动平台运动位移d，计算出表面缺陷的开口宽度。本发明能够用于在位检测，且对于不同内部形状的开口缺陷均能准确测得开口的宽度。 | ||
| 申请公布号 | CN106017371A | 申请公布日期 | 2016.10.12 |
| 申请号 | CN201610524370.4 | 申请日期 | 2016.06.29 |
| 申请人 | 浙江大学 | 发明人 | 居冰峰;王传勇;薛茂盛;朱吴乐;孙泽清;孙安玉 |
| 分类号 | G01B17/00(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I | 主分类号 | G01B17/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人 | 张法高;傅朝栋 |
| 主权项 | 一种基于激光超声的表面缺陷开口宽度的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：1)脉冲激光器探头(3)和激光干涉仪探头(4)放置在工件(1)表面缺陷的一侧，且激光干涉仪探头(4)在脉冲激光器探头(3)和表面缺陷(6)之间；2)利用脉冲激光器探头(3)在工件(1)表面激励出表面声波，再利用激光干涉仪探头(4)先后分别测得直达表面波信号R<sub>1</sub>和从缺陷反射回的表面波信号RR<sub>1</sub>，继而得到直达表面波信号R<sub>1</sub>到达干涉仪探头(4)的时间t<sub>R1</sub>以及从缺陷反射回的表面波信号RR<sub>1</sub>到达干涉仪探头(4)的时间t<sub>RR1</sub>；3)将脉冲激光器探头(3)和激光干涉仪探头(4)放置在工件(1)表面缺陷的另一侧，且激光干涉仪探头(4)在脉冲激光器探头(3)和表面缺陷(6)之间；再重复步骤2)，得到直达表面波信号R<sub>2</sub>和从缺陷反射回的表面波信号RR<sub>2</sub>，继而得到直达表面波信号R<sub>2</sub>到达干涉仪探头(4)的时间t<sub>R2</sub>以及从缺陷反射回的表面波信号RR<sub>2</sub>到达干涉仪探头(4)的时间t<sub>RR2</sub>；4)通过干涉仪探头(4)两次测量得到的直达表面波信号和缺陷回波信号到达时间，以及步骤1)和3)中脉冲激光器探头(3)在工件(1)表面激励出的超声源间的距离，再计算出在两次测量中干涉仪探头(4)探测点(8)连线上的表面缺陷的开口宽度w。 | ||
| 地址 | 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 | ||