发明名称 一种含新型隧穿结的晶格失配太阳能电池及其制备方法
摘要 本发明公开了一种含新型隧穿结的晶格失配太阳能电池及其制备方法,以Ge单晶为衬底,在该衬底表面自下而上依次生长有GaInP成核层、GaInAs缓冲层、晶格渐变缓冲层、第一新型隧穿结、GaInAs子电池、第二新型隧穿结和GaInP子电池。其中,第一新型隧穿结和第二新型隧穿结均包括一层简并的p型镓铟氮砷(Ga<sub>1‑</sub><sub>y</sub>In<sub>y</sub>N<sub>x</sub>As<sub>1‑x</sub>)和一层简并的n型镓铟砷(Ga<sub>1‑</sub><sub>z</sub>In<sub>z</sub>As),两层材料的晶格常数分别与其相邻半导体层材料一致或失配度小于3%,每层的厚度均在5到100nm范围内。本发明采用的新型隧穿结不仅具有比普通隧穿结更优的高电导、强透光性,更重要的作为一种刚性材料可以过滤大量穿透位错和失配位错,降低非辐射复合,提高少子寿命,从而提高光电转换效率。
申请公布号 CN106024924A 申请公布日期 2016.10.12
申请号 CN201610562253.7 申请日期 2016.07.14
申请人 中山德华芯片技术有限公司 发明人 刘雪珍;周文远;吴波;刘建庆;张小宾;杨柏
分类号 H01L31/0304(2006.01)I;H01L31/0725(2012.01)I;H01L31/0735(2012.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/0304(2006.01)I
代理机构 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人 梁莹
主权项 一种含新型隧穿结的晶格失配太阳能电池,其特征在于:采用金属有机化合物气相沉积,以Ge单晶为衬底,在该衬底上表面自下而上依次生长有GaInP成核层、GaInAs缓冲层、晶格渐变缓冲层、第一新型隧穿结、GaInAs子电池、第二新型隧穿结和GaInP子电池;所述第一新型隧穿结和第二新型隧穿结均包括一层简并的p型镓铟氮砷Ga<sub>1‑y</sub>In<sub>y</sub>N<sub>x</sub>As<sub>1‑x</sub>和一层简并的n型镓铟砷Ga<sub>1‑z</sub>In<sub>z</sub>As;该第一新型隧穿结和第二新型隧穿结所含的p型Ga<sub>1‑y</sub>In<sub>y</sub>N<sub>x</sub>As<sub>1‑x</sub>,其光学带隙为0.85~1.4eV,掺杂元素为C或Zn,掺杂浓度大于1e19,晶格分别与其相邻半导体层材料匹配或失配度小于3%,厚度均在5到100nm范围内;该第一新型隧穿结和第二新型隧穿结所含的n型Ga<sub>1‑z</sub>In<sub>z</sub>As,其光学带隙为小于或等于1.42eV,掺杂元素为Si、Te或/和Ge,掺杂浓度大于1e19,晶格分别与其相邻半导体层材料匹配或失配度小于3%,厚度均在5到100nm范围内。
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