| 摘要 |
기판상에, (A1)란탄족(단, 세륨을 제외함)에서 선택되는 금속의 카르복실산염, 알콕사이드, 디케토네이트, 질산염 및 할로겐화물로 이루어지는 군에서 선택되는 금속 화합물 1종 이상 a×y몰부, (A2)납, 비스무스, 니켈, 팔라듐, 구리 및 은으로부터 선택되는 금속의 카르복실산염, 알콕사이드, 디케토네이트, 질산염 및 할로겐화물로 이루어지는 군에서 선택되는 금속 화합물 1종 이상 a×(1- y)몰부, 및 (B)루테늄, 이리듐, 로듐 및 코발트로부터 선택되는 금속의 카르복실산염, 알콕사이드, 디케토네이트, 질산염, 할로겐화물, 니트로실카르복실산염, 니트로실질산염, 니트로실황산염 및 니트로실할로겐화물로 이루어지는 군에서 선택되는 금속 화합물 1종 이상 1몰부 및 (C)카르복실산, 알코올, 케톤, 디올 및 글리콜에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상을 함유하는 용매를 함유하는 조성물을 도포하여 도막을 형성하고, 상기 도막을 산화성 분위기 하에 가열하는 공정을 거치는 것을 특징으로 하는, 비정질 도전성 산화물 막의 형성 방법. |
