充气加压电化学放电加工装置及方法

摘要

本发明适用于绝缘硬脆材料的微细精密加工，属于制造技术中特种加工领域，具体提供了一种充气加压电化学放电加工装置及方法。通过供气系统向密闭工作腔中充入氦气，增大并控制工作腔内的压强。构建了气压反馈和供气系统以调节工作腔内的压强；构建了力反馈和工具电极运动系统，以控制工具电极有效进给，保障加工间隙。压强增大能加速气膜层的形成并提高气膜层的稳定性，提高了放电加工精度和加工表面质量；压强增大还可使得工作液更易渗透到加工区域以增大加工深度；对压强的控制可间接控制气膜层厚度，从而控制放电加工半径和加工精度。

主权项

一种充气加压电化学放电加工装置，其特征在于，包括工作腔（6）和双向微量泵（13），所述双向微量泵（13）连接在所述工作腔（6）上；所述工作腔（6）底部安装有工作台（10），所述工作腔（6）顶部安装有X‑Y‑Z三坐标数控平台（4），所述X‑Y‑Z三坐标数控平台（4）通过力传感器（5）与工具电极（9）连接；所述工作腔（6）内还安装有气压传感器（3）和辅助电极（11），所述辅助电极（11）和所述工具电极（9）与可调脉冲电源（12）连接。