用于从工件同时切割多个晶圆的方法

摘要

一种从具有轴线和在工件侧面上平行于轴线施加的缺口的柱体工件同时切割多个晶圆的方法包括：在工件上施加切入梁，切入梁从前侧至后侧形状配合地将头端适配入缺口中，且足端从缺口伸出；借助线锯的进料装置保持工件，使工件轴线平行于线锯的柱体线材导轮的轴线；借助进料装置使切入梁和工件在垂直穿过平面线材网的进料方向上移动，线材网由彼此平行布置且垂直于线材导轮轴线的线材段构成，线材借助线材导轮上的槽螺旋环绕线材导轮地被多次引导，切入梁以足端首先抵靠着线材网移动，工件以缺口首先抵靠着线材网移动；在用作研磨剂的磨料存在的情况下，通过使线材导轮在与线材一致的方向上以相同圆周速度旋转，使得线材段在线材纵向方向上移动。

主权项

一种从柱体工件同时切割多个晶圆的方法，该工件具有轴线和在工件侧面上平行于所述轴线施加的缺口，该方法包括：在工件上施加切入梁，切入梁从前侧至后侧形状配合地将头端适配入缺口中，并且将足端从缺口伸出；借助线锯的进料装置保持工件，使工件的轴线平行于线锯的数个柱体线材导轮的轴线；借助进料装置使切入梁和工件在垂直穿过平面线材网的进料方向上移动，该线材网由彼此平行布置且垂直于线材导轮轴线的数个线材段构成，其中线材借助线材导轮上的数个槽环绕线材导轮地被多次螺旋地引导，所述切入梁以足端首先抵靠着线材网移动，工件以缺口首先抵靠着线材网移动；以及在用作研磨剂的磨料存在的情况下，通过使线材导轮在与线材一致的方向上以相同圆周速度旋转，使得线材段在线材纵向方向上移动。