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发明名称 VACUUM PUMP SYSTEM
摘要
申请公布号 EP2464827(A2) 申请公布日期 2012.06.20
申请号 EP20100739905 申请日期 2010.07.30
申请人 OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH 发明人 DREIFERT, THOMAS;GIEBMANNS, WOLFGANG
分类号 F01C21/00 主分类号 F01C21/00
代理机构 代理人
主权项
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