一种双色飞秒激光测量半导体器件热载流子寿命的装置

摘要

本实用新型公开一种双色飞秒激光测量半导体器件热载流子寿命的装置，包括脉冲飞秒激光器，其特征在于，所述脉冲飞秒激光器下方具有分光器件，所述分光器件下方具有第一反射镜，所述分光器件右侧具有第四反射镜，所述第一反射镜右侧具有第一聚焦镜，所述第一聚焦镜右侧具有倍频晶体，所述倍频晶体右侧具有准直镜，所述准直镜右侧具有滤光片，所述滤光片右侧具有第二反射镜，所述第二反射镜下方具有第三反射镜，所述第三反射镜斜右上方具有第二聚焦镜，所述第二聚焦镜右上方具有半导体样品及样品固定架。本实用新型将注入光和探测光使用不同波长的飞秒脉冲激光，能够准确高效的测量半导体器件热载流子的寿命。

主权项

一种双色飞秒激光测量半导体器件热载流子寿命的装置，包括脉冲飞秒激光器(1)，其特征在于，所述脉冲飞秒激光器(1)下方具有分光器件(2)，所述分光器件(2)下方具有第一反射镜(3)，所述分光器件(2)右侧具有第四反射镜(10)，所述第一反射镜(3)右侧具有第一聚焦镜(4)，所述第一聚焦镜(4)右侧具有倍频晶体(5)，所述倍频晶体(5)右侧具有准直镜(6)，所述准直镜(6)右侧具有滤光片(7)，所述滤光片(7)右侧具有第二反射镜(9)，所述第二反射镜(9)下方具有第三反射镜(8)，所述第三反射镜(8)斜右上方具有第二聚焦镜(11)，所述第二聚焦镜(11)右上方具有半导体样品(18)及样品固定架(19)，所述半导体样品(18)左侧具有第三聚焦镜(17)，所述第三聚焦镜(17)左侧具有第五反射镜(12)，所述第四反射镜(10)和第五反射镜(12)上方具有电控位移台(13)，所述电控位移台(13)上放置角锥棱镜(14)，所述角锥棱镜(14)下方左侧放置第四反射镜(10)。