对在半导体芯片中的环境状况的检测

摘要

描述了一种可以能够可再生地测量极小电容及其变化的电容传感器和测量电路。该电容可以根据本地环境状况，比如机械应力（例如翘曲或剪应力）、机械压力、温度和/或湿度，而变化。可能所期望的是，提供集成到半导体芯片中的电容器，该电容器足够小且对精确测量预期半导体芯片所经历的状况敏感。

主权项

一种半导体芯片，包括：衬底；布置在衬底上的多个材料层；半导体芯片的有效区，在该有效区内，多个电路元件被布置在所述多个层中的至少一些层中；和电容器，布置在半导体芯片的禁用区且与所述多个电路元件中的至少一个电路元件电耦合。