发明名称 |
半导体器件结构的结构和形成方法 |
摘要 |
本发明提供了半导体器件结构的结构和形成方法。该半导体器件结构包括位于半导体衬底上方的栅极堆叠件。该半导体器件结构也包括位于半导体衬底上方的源极/漏极结构,并且源极/漏极结构包括掺杂剂。该半导体器件结构还包括位于栅极堆叠件下方的沟道区。此外,该半导体器件结构包括围绕源极/漏极结构的半导体层。半导体层配置为防止掺杂剂进入沟道区。 |
申请公布号 |
CN106024767A |
申请公布日期 |
2016.10.12 |
申请号 |
CN201510798938.7 |
申请日期 |
2015.11.18 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
陈隆;郭康民;詹文炘 |
分类号 |
H01L25/07(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I |
主分类号 |
H01L25/07(2006.01)I |
代理机构 |
北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 |
代理人 |
章社杲;李伟 |
主权项 |
一种半导体器件结构,包括:栅极堆叠件,位于半导体衬底上方;源极/漏极结构,位于所述半导体衬底上方,其中,所述源极/漏极结构包括掺杂剂;沟道区,位于所述栅极堆叠件下方;以及半导体层,围绕所述源极/漏极结构,其中,所述半导体层配置为防止所述掺杂剂进入所述沟道区。 |
地址 |
中国台湾新竹 |