发明名称 半导体器件结构的结构和形成方法
摘要 本发明提供了半导体器件结构的结构和形成方法。该半导体器件结构包括位于半导体衬底上方的栅极堆叠件。该半导体器件结构也包括位于半导体衬底上方的源极/漏极结构,并且源极/漏极结构包括掺杂剂。该半导体器件结构还包括位于栅极堆叠件下方的沟道区。此外,该半导体器件结构包括围绕源极/漏极结构的半导体层。半导体层配置为防止掺杂剂进入沟道区。
申请公布号 CN106024767A 申请公布日期 2016.10.12
申请号 CN201510798938.7 申请日期 2015.11.18
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 陈隆;郭康民;詹文炘
分类号 H01L25/07(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I 主分类号 H01L25/07(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;李伟
主权项 一种半导体器件结构,包括:栅极堆叠件,位于半导体衬底上方;源极/漏极结构,位于所述半导体衬底上方,其中,所述源极/漏极结构包括掺杂剂;沟道区,位于所述栅极堆叠件下方;以及半导体层,围绕所述源极/漏极结构,其中,所述半导体层配置为防止所述掺杂剂进入所述沟道区。
地址 中国台湾新竹