一种基于亚微米超平滑金属薄膜的高灵敏FP压力传感器

摘要

一种基于亚微米超平滑金属薄膜的高灵敏FP压力传感器，其主要是：作为FP腔体的毛细玻璃管，其一个环形端面与单模光纤的横截面熔接，环形端面的外径和单模光纤的直径相等，该毛细玻璃管的另一个环形端面与将其覆盖的圆形金属薄膜固连，该金属薄膜为表面平整度高且厚度为亚微米级的金属薄膜，并且单模光纤的横截面中心、金属薄膜的中心均在毛细玻璃管的轴线上，所述金属薄膜采用银、铝或镍制备。本发明的结构光纤化，结构简单、体积纤小，可靠性高，能够实现压力的高精度测量，同时便于大规模组网。

主权项

一种基于亚微米超平滑金属薄膜的高灵敏FP压力传感器，其是由毛细玻璃管、单模光纤和金属薄膜组成，其特征在于：作为FP腔体的毛细玻璃管，其一个环形端面与单模光纤的横截面熔接，环形端面的外径和单模光纤的直径相等，该毛细玻璃管的另一个环形端面与将其覆盖的圆形金属薄膜固连，该金属薄膜为表面平整度高且厚度为亚微米级的金属薄膜，并且单模光纤的横截面中心、金属薄膜的中心均在毛细玻璃管的轴线上，所述金属薄膜采用银、铝或镍制备。